高溫老化試驗(yàn)箱又叫高溫箱、老化箱、高溫烤箱、高溫烘箱、熱老化試驗(yàn)箱、高溫箱用于各類電子產(chǎn)品及橡膠塑料等產(chǎn)品的熱老化試驗(yàn)檢測(cè)，是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的測(cè)試設(shè)備，用于測(cè)試和確定電工、電子及其他產(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫試驗(yàn)的溫度環(huán)境變化后的參數(shù)及性能...

1、本文適用范圍

本規(guī)范適用于集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)的校準(zhǔn)。

2、本文引用文獻(xiàn)

GB/T 5170.1- -1995 電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備基本參數(shù)檢定方法總則

GB/T 5170.2-1996電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備基本參數(shù)檢定方法溫度試驗(yàn)設(shè)備

注:使用本規(guī)范時(shí)，應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本。

3、概述

集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)用于對(duì)集成電路進(jìn)行高溫動(dòng)態(tài)老化試驗(yàn)，主要由控制機(jī)、高溫試驗(yàn)箱、器件電源單元、信號(hào)驅(qū)動(dòng)單元等部分組成，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖見圖1所示。

老化系統(tǒng)中的高溫老化試驗(yàn)箱用于提供集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化的高溫環(huán)境。電源單元即老化電源，采用二級(jí)電源方式，其中一級(jí)老化電源用于提供足夠功率的正負(fù)一次電壓,二級(jí)老化電源以一級(jí)電源作為輸人，參照集成電路器件老化規(guī)范要求為老化器件提供電源。老化系統(tǒng)通常分為3~4個(gè)工作區(qū)，由4個(gè)獨(dú)立的程控電源為整個(gè)系統(tǒng)提供器件電源和信號(hào)電源。信號(hào)驅(qū)動(dòng)單元是集成電路動(dòng)態(tài)老化的核心子系統(tǒng)，其主要功能是通過主控計(jì)算機(jī)的編程，產(chǎn)生待老化芯片所需的各種模擬、數(shù)字和三態(tài)驅(qū)動(dòng)信號(hào)波形，以滿足集成電路器件的老化需求。

4、計(jì)量特性

（1）溫度性能

（2）溫度參數(shù)

溫度范圍: 20C~ 150℃;

溫度偏差: +3℃;

溫度均勻度: +2℃;

溫度波動(dòng)度: +0.5℃。（3）數(shù)字驅(qū)動(dòng)信號(hào)特性參數(shù)

數(shù)字信號(hào)脈沖寬度：脈沖寬度范圍:≥100ns最大允許誤差:土10%

數(shù)字信號(hào)幅度：電壓范圍: .100mV~20V 最大允許誤差: 士1%

（5）模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)特性參數(shù)

模擬信號(hào)頻率：頻率范圍: 1Hz~ 32kHz最大允許誤差: 土3%

模擬信號(hào)幅度：電壓范圍: 100mV~20V最大 允許誤差:土3% .

（6）老化板器件電源參數(shù)

電壓：電壓范圍: 100mV~20V最大允許誤差: +1%

5、校準(zhǔn)條件

（1）環(huán)境條件

環(huán)境溫度: (15~35)C

環(huán)境相對(duì)濕度: ≤80%

交流電源電壓: (220+11)V; (50士 1)Hz

周圍無強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾及無影響校準(zhǔn)系統(tǒng)正常工作的機(jī)械振動(dòng)。

（2）校準(zhǔn)用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)、 儀表設(shè)備

鉑電阻溫度計(jì)測(cè)量范圍:- 80℃ ~200℃最大允許誤差: +0.2℃

溫度測(cè)試記錄儀

RTD測(cè)量范圍: - 200℃ ~600℃最大允許誤差: +0.08℃

（3）數(shù)字電壓表

直流電壓測(cè)量范圍:士(100mV~50V)最大允許誤差: 士0.1%

交流電壓測(cè)量范圍: (100mV~50V), 32kHz最大允許誤差: +0.1%

（4）數(shù)字示波器

帶寬: 100MHz( - 3dB)

幅度測(cè)量范圍: 100mV~ 20V最大允許誤差: 土3%

時(shí)間間隔測(cè)量范圍: 10ns~ 10s最大允許誤差: 土3%

6、校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)方法

（1）設(shè)備工作正常性檢查

集成電路高溫動(dòng)態(tài)老化系統(tǒng)應(yīng)能正常工作，將檢查結(jié)果填人附錄A“工作正常性檢查”項(xiàng)中。

（2）高溫老化試驗(yàn)箱校準(zhǔn)

選擇校準(zhǔn)標(biāo)稱點(diǎn)：應(yīng)選擇設(shè)備使用范圍的下限、上限及中間點(diǎn)，也可根據(jù)用戶需要選擇實(shí)際使用的溫度點(diǎn)，推薦校準(zhǔn): 85℃和125℃兩個(gè)溫度點(diǎn)。

A、數(shù)據(jù)采集器通電， 預(yù)熱30min以上。

B、選擇校準(zhǔn)點(diǎn)位置，布放溫度傳感器

溫度校準(zhǔn)點(diǎn)分布在設(shè)備工作室內(nèi)的三個(gè)校準(zhǔn)面上，簡(jiǎn)稱上、中、下三層，中層為通過工作室?guī)缀沃行牡?、平行于底面的校?zhǔn)工作面,校準(zhǔn)點(diǎn)與工作室內(nèi)壁的距離為各邊長(zhǎng)的1/10，遇風(fēng)道時(shí)，此距離可加大，但不能大于500mm。如果設(shè)備帶有樣品架或樣品車時(shí)，下層校準(zhǔn)點(diǎn)可布放在樣品架或樣品車上方10mm處。

當(dāng)設(shè)備容積小于2立方米時(shí)，溫度校準(zhǔn)點(diǎn)為9個(gè)，0點(diǎn)位于中層幾何中心，如圖2所示。其中，溫度校準(zhǔn)點(diǎn)用A, B, C等字母表示。

C、高溫老化試驗(yàn)箱的校準(zhǔn)

按規(guī)定布放溫度傳感器，并將負(fù)載裝人工作空間，將高溫試驗(yàn)箱的溫度控制器設(shè)定到所要求的標(biāo)稱溫度，使試驗(yàn)設(shè)備升溫或降溫至設(shè)定標(biāo)稱溫度。在達(dá)到設(shè)備自身穩(wěn)定狀態(tài)后開始讀數(shù)，每2min測(cè)試所有校準(zhǔn)點(diǎn)的溫度一次，在30min內(nèi)共測(cè)試15次。